Products

  • GCR4280_EDGE GRIP
  • 產品廠牌: JEL
    產品簡述: 大氣用機械手臂
    原廠國家:   日本
    製程應用:
        半導體
    產品名稱 :     4軸水平多關節型機械手臂
    使用環境 :     無塵室內的大氣環境
    手臂        :    
    單臂
    到達距離 :    
    553mm (手臂第3關節中心基準)
    升降軸最大行程 :
    420mm
    可搬運重量 :
    手臂第3關節部分的承受重量 4kgf 以下
製程說明
1.  無塵室用多軸結構設計,4軸水平多關節機械手臂。
2.  具備450mm晶圓翻轉功能,邊握式Chuck。
3.  高強度手臂/手臂第3關節部分可承受4kgf 以下(包含Chuck,晶圓的重量)
4.  具備晶圓翻轉機構的邊握式Chuck,可訂製同時搬運5片300mm晶圓的Chuck
5.  機械手臂驅動部分採用AC伺服馬達
6.  採用S曲線​​加減速控制以及對運轉軌跡的最佳化調整,實現高速,高精度地完成晶圓傳輸。
7.  根據設備的配置可以選擇底座固定方式,或法蘭(頸部)固定方式
8.  可選購伯努利方式Chuck(Option)
9.  電源:單相 AC200V±10% 10A    真空:-53kPa以上
10.控制通訊方式:串列RS232C或並列光學I/O