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  • SAL3481HV
  • 產品廠牌: JEL
    產品簡述: 晶圓校準器
    原廠國家:   日本
    製程應用:
        半導體
    產品名稱 :     晶圓校準器
    使用環境 :     無塵室內的大氣環境
    晶圓尺吋
    :      100-200mm
    搬運物 :     透明,半透明,矽晶圓
製程說明
1.  適用於100-200mm晶圓, 可適用於多種晶圓的新型Aligner
2.  可適用於矽片,透明,半透明晶圓等不同材質晶圓的位置校準
3.  使用自主研發的圖像識別傳感器,採用了控制器和馬達驅動器集和到設備本體內部的一體化設計
4.  可以根據晶圓尺寸,材質更改Spindle的直徑,形狀和材質,Spindle可以更改為伯努利吸附方式
5.  不符合SEMI規格的缺口,缺邊形狀也可以提供訂製設計
6.  能夠為Spindle增加Z軸以滿足對晶圓進行升降的需求
7.  可依據晶圓取放的動作針對Z軸進行選購
8.  電源:DC24V±10% 12A   真空:-53kPa以上
9.  控制通訊方式:串列RS232C或並列光學I/O