Compound SemiconductorJEL
1.各種ウェーハに対応した100～200mm新型アライナ
2.シリコンウェーハ、シリコンウェーハBGテープ（乳白色）付、透明、半透明ウェーハなどウェーハ材質に
影響を受けずにセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め
3.独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵
4.ウェーハサイズ、材質にあわせてスピンドルの径、形状、材質の変更も対応可能
ベルヌーイスピンドルも搭載可能
5.SEMI規格にない形状のノッチ、オリフラ等への対応も可能
6.ウェーハ持ち直し動作が可能なZ軸付きもオプションにて設定しています
7.電流電圧：DC24V±10% 3A 真空：-53kPa以上
8.インターフェイス：RS232C及びパラレルフォトI/O