Products

  • SAL3481HV
  • 產品廠牌: JEL
    產品簡述: 大気用クリーン搬送ロボット
    製造国    :   日本
    使用行程:
        半導体
    製品名     :    ウェーハ用アライナ
    設置環境 :    
    クリーンルーム内大気
    被搬送サイズ :     100-200mm
    被搬送物 :    
    透明, 半透明, シリコンウェーハ
製程說明
1.各種ウェーハに対応した100~200mm新型アライナ
2.シリコンウェーハ、シリコンウェーハBGテープ(乳白色)付、透明、半透明ウェーハなどウェーハ材質に
  影響を受けずにセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め
3.独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵
4.ウェーハサイズ、材質にあわせてスピンドルの径、形状、材質の変更も対応可能
  ベルヌーイスピンドルも搭載可能
5.SEMI規格にない形状のノッチ、オリフラ等への対応も可能
6.ウェーハ持ち直し動作が可能なZ軸付きもオプションにて設定しています
7.電流電圧:DC24V±10% 3A    真空:-53kPa以上
8.インターフェイス:RS232C及びパラレルフォトI/O