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  • Bernoulli Chuck
  • 產品廠牌: JEL
    產品簡述:
    原廠國家:   日本
    伯努利的原理:
    供給端供應的氣體會從吸盤的內部圓筒狀側面的噴口高速噴出,並在吸盤內部的筒狀空間內形成旋轉氣流,並形成負壓。(旋風效應)
    上述氣流最後通過Chuck吸附表面和晶圓表面之間的間隙釋放到外部空間。
    氣流在旋風吸盤和晶圓之間的空間中形成穩定的層流,並造成晶圓上下表面之間的壓力差, 最終形成對晶圓向上的吸附力。


製程說明
根據用途可以選擇①伯努利式Chuck ; ②旋風真空吸盤式Chuck。

①伯努利式Chuck
1.為了回應眾多客戶的需求,JEL開發了可應用於翹曲,薄型晶圓傳輸的低價格Chuck。
2.能夠適應不同尺寸,形狀的被搬運物。
3.能夠有效地降低晶圓在吸附的過程中所承受的應力負載,大幅降低晶圓在吸附的過程可能造成的損傷。
4.伯努利原理的Chuck能夠做到薄型化。

②旋風真空吸盤式Chuck
1.使用直徑25mm,厚度2.5mm的旋風式真空吸盤。
2.能夠適應不同尺寸,形狀的被搬運物。
3.可以配套伯努利原理校準器使用。
4.旋風式真空吸盤Chuck相較於伯努利原理Chuck具有更強吸力的優點。

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