SemiconductorSENTECH

SIPAR

  • BRAND： Sentech
  • DESCRIPTION：

  • 原厂国家：   德国
    制程应用：    可应用在同时需要原子层镀膜与电浆化学镀膜的制程需求.
    相关连结：    http://www.sentech.de/

1.较低的价格，更高的产出量和更小的空间
2.ALD层与PECVD薄膜在同一反应腔产出混和型多层且均匀一致的薄膜
3.快速切换及快速清洗在ALD层和PECVD薄膜之间。