Products

  • SIPAR
  • 產品廠牌: Sentech
    產品簡述:

    原厂国家:   德国
    制程应用:
    可应用在同时需要原子层镀膜与电浆化学镀膜的制程需求.
    相关连结:
    http://www.sentech.de/

製程說明
1.较低的价格,更高的产出量和更小的空间
2.ALD层与PECVD薄膜在同一反应腔产出混和型多层且均匀一致的薄膜
3.快速切换及快速清洗在ALD层和PECVD薄膜之间。