原厂国家： 德国 制程应用： 1.PEALD敏感基板 2.制程中可在线侦测和优化 3.清洁容易 4.可整合手套箱系统 5.可整合其他系统: PECVD/ICPECVD/Plasma etching 相关连结： http://www.sentech.de/ 关键字 ： 原子层沉积
SENTECH原子层沉积系统，使热和等离子增强的操作，其可为氧化物，氮化物，和金属沉积进行配置。
