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  • SI ALD LL
  • 產品廠牌: Sentech
    產品簡述: 具有晶圆承载原子层沉积系统
    原厂国家: 德国
    制程应用:

    1.PEALD敏感基板
    2.制程中可在线侦测和优化
    3.清洁容易
    4.可整合手套箱系统
    5.可整合其他系统: PECVD/ICPECVD/Plasma etching

    相关连结:  http://www.sentech.de/
    关键字  :   原子层沉积

製程說明
SENTECH原子层沉积系统,使热和等离子增强的操作,其可为氧化物,氮化物,和金属沉积进行配置。