原厂国家: 德国 制程应用: 适用于各种不同薄膜量测: 研发 / 光伏 相关连结: http://www.sentech.de/ 关键字 : 椭圆仪、椭偏仪
-PERC制程用之QC检验 -双层薄膜:Al2O3和SiNx的膜厚和折射率量测 -操作简易适用于长期稳定性监控