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  • Olympian
  • 產品廠牌: n&k
    產品簡述: 全自動化量測超厚以及超薄膜的折射率、消光係數和厚度;以及複雜的2-D和3-D結構的深處的深度、線寬與表面形貌

    原廠國家:  美國
    製程應用:
      全自動化系統可應用於量測超厚以及超薄膜
                        的折射率、吸收係數和厚度;以及複雜的2-D
                        和3-D結構的深處的深度、線寬與表面形貌
    相關連結:   http://www.nandk.com/
    關鍵字   : 關鍵尺寸量測 量測薄膜的厚度、折射率、吸收係數

製程說明
1. 光譜儀量測波長範圍為190~15000nm
2. 反射量側與穿透量測的光點為50微米和85微米
3. 可自動化量測且量測6吋, 8吋或12吋的晶圓
4. 非破壞性且即時的量測
5. 高產出以及可直接量測元件內部