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製程說明
Omega-Theta方式高產出量測系統  
1. 比Theta量測方式快200倍
2. 自動量3D晶格方向
3. 5秒內可以量測出晶體方向
4. 研發與量產皆適用
5. 單一設備具有 Omega 與Theta 量測方式
6. 方向設置與標示功能,以利後續產品處理
7. 最高精度為 (1/1000)°
8. 具備搖幌曲線(Rocking Curve)測量方式(Theta scan)