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製程說明
"Omega-Theta方式高产出量测系统  
1. 比Theta量测方式快200倍
2. 自动量3D晶格方向
3. 5秒内可以量测出晶体方向
4. 研发与量产皆适用
5. 单一设备具有 Omega 与Theta 量测方式
6. 方向设置与标示功能,以利后续产品处理
7. 最高精度为 (1/1000)°
8. 具备摇幌曲线(Rocking Curve)测量方式(Theta scan)"