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  • SI2000 系列分析儀
  • 產品廠牌: PICARRO
    產品簡述: AMC 即時監測分析儀
    原廠國家:    美國  
    製程應用:   
    半導體AMC監控
    相關連結:    https://semi.picarro.com/
    關鍵字:空氣性分子污染物,揮發性有機物


製程說明
Picarro新一代的SI2000系列分析儀
是一種可靠且易於使用的小型光譜儀,
同時具有長期穩定性和低保養費用的好處。 CRDS雷射分析儀不需要特別送外校驗,每年約需不到15分鐘的時間即可完成完整的分析儀校驗。不同氣體的分析儀可安裝在一個標準的機架並連接多埠採樣管,採樣管可安裝在主要的FAB地點,進行即時監控潔淨室空氣和FOUP污染程度。