原廠國家： 美國 製程應用： 全自動化系統可應用於量測超厚以及超薄膜 的折射率、吸收係數和厚度；以及複雜的2-D 和3-D結構的深處的深度、線寬與表面形貌 相關連結： http://www.nandk.com/ 關鍵字 ： 關鍵尺寸量測 量測薄膜的厚度、折射率、吸收係數
1. 光譜儀量測波長範圍為190~15000nm 2. 反射量側與穿透量測的光點為50微米和85微米 3. 可自動化量測且量測6吋, 8吋或12吋的晶圓 4. 非破壞性且即時的量測 5. 高產出以及可直接量測元件內部
