原廠國家: 德國 制程應用: LED線上即時PSS以及GaN 磊晶表面溫度監 控,特別適用4吋以上substrate。 相關連結: http://www.laytec.de/pyro400/
1. 在磊晶過程中進行LED磊晶片的及時監控: > 針對PSS、GaN Epi wafer量身訂做的實際表面溫度監控技術(wafer surface true temprature) > 磊晶片表面發散率(emission) 2. 應用於4"以上之大尺寸晶片。 3. 光纖訊號傳送,準確快速。 4. 擷取波長400nm可即時量測磊晶片真實表面溫度 以控制波長並提升良率。 5. 與EpicurveTT搭配,可即時了解subtrate表面溫度及曲率的關係。