AbsoluT


  • BRAND: LayTec
  • DESCRIPTION: Laytec溫度探測頭的校溫工具
  • 原廠國家: 德國
    制程應用:
     快速方便的sensor heard精確溫度校正工具。
    相關連結:  http://www.laytec.de/absolut/

     

1. 無需使用傳統eutetic wafer校溫,使用波長950nm標準光源快速執行sensor之溫度校正。
2. 大幅提高機台uptime時間以及製程參數的可靠性。
3.大幅降低因viewport差異所造成Reactor to Reactor, Run to Run, Ring to Ring 的溫度讀值差異,精確度可到1度K。
4.  模組化設計,體積輕巧。