原廠國家： 德國 製程應用： 可從室溫 level 到 350C 沉積 SiO2, SINx, SiOxNy, and a-Si 相關連結： http://www.sentech.de/ 關鍵字 ： 電漿化學氣相沉積
1.在製程溫度與薄膜沉積選擇上高度彈性的 電漿輔助化學氣相沉積系統 2.真空的晶圓承載腔體(loadlock) 3.可用液態或氣態的金屬先驅物沉積 TEOS, SiC, and 和其他材料 4.最大到 200mm 晶圓
