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  • GCR4210_STEPPING
  • 產品廠牌: JEL
    產品簡述: 大気用クリーン搬送ロボット
    製造国    :   日本
    使用行程:
        半導体
    製品名     :    4軸水平多関節型クリーンロボット
    設置環境 :    
    クリーンルーム内大気

製程說明
1.スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4000-PM
2.300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。
3.アームバリエーション:210mm
4.ロボットのみで2FOUP対応可能
5.Z軸(上下ストローク): 300mm
6.可搬重量:3.0kgf (第3関節換算)(ワーク、リストブロック、チャックを含む)
7.動作モニター装備
8.全軸アブソリュートエンコーダ付2相パルスモータ使用
9.S字加減速制御及び動作軌跡最適化によりウェーハを高速、高精度で搬送
10.オフセット動作では従来機GHR4000タイプと比較して1.4倍
11.被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
12.装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
13.電流電圧:DC24V±10% 15A  真空:-53kPa以上(吸着チャック取付の場合)
14.インターフェイス:RS232C及びパラレルフォトI/O