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  • GTCR5280_300mm
  • 產品廠牌: JEL
    產品簡述: 大気用クリーン搬送ロボット
    製造国    :   日本
    使用行程:
        半導体
    製品名     :    5軸水平多関節型クリーンロボット
    設置環境 :    
    クリーンルーム内大気

製程說明
1.300mm対応の5軸水平多関節型クリーンロボット
2.ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保
3.300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています
4.アームバリエーション: 210mm、280mm
5.ロボットのみで2FOUP対応可能、210mmアーム=2FOUP,280mmアーム=3FOUP対応
6.Z軸(上下ストローク): 300mm
7.可搬重量:4.0kgf (第3関節換算)(ワーク、リストブロック、チャックを含む)
8.ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮
9.動作モニター装備
10.全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用
11.S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
12.ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック
13.チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能
14.装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
15.電流電圧:単相AC200V±10% 電源容量:4kVA  真空:-53kPa以上(吸着チャック取付の場合)
16.インターフェイス:RS232C及びパラレルフォトI/O