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  • GCR4280_EDGE GRIP
  • 產品廠牌: JEL
    產品簡述: 大気用クリーン搬送ロボット
    製造国    :   日本
    使用行程:
        半導体
    製品名     :    4軸水平多関節型クリーンロボット
    設置環境 :    
    クリーンルーム内大気
    アーム     :    
    シングルアーム
    到達距離 :    
    553mm (アーム第3関節中心到達距離)
    昇降距離 :    
    420mm
    可搬重量 :    
    4kgf (第3関節換算)(ワーク、リストブロック、チャックを含む)
製程說明
1.スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボット
2.450mmウェーハを反転、エッジグリップ保持します
3.高剛性・アーム第3関節換算4kgf(チャック、ワーク含む)
4.反転エッジグリップチャック、300mmウェーハ5枚一括搬送など様々な搬送の提案が可能
5.ロボット本体にACサーボモータを採用
6.S字加減速制御、エリア制御を行い、高速搬送を実現し、高スループットが可能
7.装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
8.ベルヌーイチャックの搭載可能(オプション)
9.電流電圧:単相 AC200V±10% 10A    真空:-53kPa以上
10.インターフェイス:RS232C及びパラレルフォトI/O