Compound SemiconductorJEL 

Bernoulli Chuck

  • BRAND： JEL
  • DESCRIPTION：

  • 製造国：   日本
    ベルヌーイチャックの仕組み:
              供給ポートから導入されたエアが円筒部側面にあるノズルから噴き出され、
    円筒部内部で旋回流となり真空を発生させます。（サイクロン効果）
            供給エアは吸着面とウェーハの間から、大気に放出されます。
    その結果、サイクロンパッドとウェーハの間にエア層が発生し、非接触での吊上げが可能になります。




用途に応じて①ベルヌーイ方式、②サイクロン方式の選択が可能です。

①ベルヌーイ方式
1.多くのお客様のニーズにお応えし、反り・薄物ウェーハに対応した低価格チャックを開発。
2.様々なワークサイズ、形状に対応が可能です。
3.ウェーハを低ストレスで保持することが可能となり、ウェーハへのダメージを最小限とします。
4.ベルヌーイ方式の特徴はチャックの厚みを薄くできます。

②サイクロン方式
1.直径25mm、厚さ2.5mmのサイクロンパッドを搭載。
2.様々なワークサイズ、形状に対応可能。
3.ベルヌーイアライナにも対応可能。
4.サイクロン方式の特徴はベルヌーイ方式と比べて強い保持力を有します。