半導體設備SENTECH

SENresearch 4.0

  • 產品廠牌： Sentech
  • 產品簡述： 全光譜式橢圓儀適用於單層或多層之不同材料結構的薄膜量測. 量測各種光學薄膜的厚度、折射率以及消光系數等

  • 原廠國家：   德國
    製程應用：       適用於各種不同薄膜量測: 研發 / 光伏 / 微電子 / 有機電
                                                                           子 / 玻璃塗料 / 顯示技術 / 生物科學 / 生命科學
    相關連結：   http://www.sentech.de/
    關鍵字    ：  橢圓儀、橢偏儀

SENresearch4.0是SENTECH最新的光譜橢偏儀產品。可依據各別客戶需求制定光譜範圍，亦可於日後現場升級配件。
  - 最寬的光譜範圍和最高的光譜分辨率（光譜範圍從190nm（深UV）為3500nm（NIR））
  - 搭配SSA元件（步進掃描分析儀）, 沒有可移動之料件
  - 創新的2C設計:全穆勒矩陣
  - 搭配功能最完整的軟體SpectraRay/4（包含:先進的材料分析 / 雙重操作介面:材料研究用之圖型分析模式與例行常規簡易量測介面。）