原廠國家： 美國 製程應用： 量測薄膜的厚度、折射率、吸收係數、線 寬、深度與表面形貌 相關連結： http://www.nandk.com/ 關鍵字 ： 關鍵尺寸量測 量測薄膜的厚度、折射率、吸收係數
1. 光譜儀量測波長範圍為190~1000nm 2. 反射量側與穿透量測的光點皆為50微米 3.可自動化量測且量測6吋, 8吋的晶圓 4. 非破壞性且即時的同時量測n/k/OCD 5. 高產出以及可直接量測元件內部 6. 機台體積小節省空間
