原廠國家： 美國 製程應用： 全自動化系統可應用於量測光罩及轉印技術 的薄膜的厚度、折射率、吸收係數、線寬、 深度與表面形貌 相關連結： http://www.nandk.com/ 關鍵字 ： 關鍵尺寸量測 量測薄膜的厚度、折射率、吸收係數
1. 光譜儀量測波長範圍為190~1000nm 2. 反射量側與穿透量測的光點皆為50微米 3. 非破壞性且即時的量測 4. 高產出以及可直接量測元件內部
