原廠國家: 德國 製程應用: 1.可量測lifetime (mapping) 2.Resistivity 3.LBIC 4.Iron濃度 5.Conduction type: P/N 6.材料: silicon wafer, epi layer, partially or fully processed wafer, compound semiconductor. 相關連結: http://www.freiberginstruments.de/ 關鍵字 :太陽能,量測
1. 單機矩陣式量測一片晶片量測時間約5分鐘內完成 2. 根據少數載子壽命 數值建立晶片分類等級機制 3. 在穩態狀態下量測 少數載子的壽命 (u-PCD 方式也可選擇) 4.機台可自動調整至參數最佳量測模式