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Location: Home/Cryopump & Robot service/Brooks /CTI 低溫幫浦維修

◎ 低溫幫浦Overhaul 及Exchange維修服務:

1) Overhaul 服務: 幫浦待修品入廠後，一般情況下可在10個工作天內完成。維修後保固期為自出貨日起算12個月。

2) Exchange 服務: 針對市場上常用的型號已準備各式備品，提供即時交換服務，增加客戶產能。交換維修保固期為自出貨日起算12個月。

本公司備有以下CTI 低溫幫浦型號，提供即時更換維修服務:

◎ 低溫幫浦設備升級服務:

依客戶需求提供Implanter & PVD 幫浦升級服務，協助客戶減少停機時及增加低溫幫浦效能。

◎ 低溫幫浦操作等相關訓練:

依據客戶需求，本公司提供低溫幫浦教育訓練課程，亦可安排維修工廠參觀，幫助客戶了解低溫幫浦結構及原理，以利日後設備操作時更加得心應手。