原廠國家: 日本 製程應用: IC先進封裝 相關連結: http://www.pnp.co.jp/products_3_1e.html 關鍵字: 霍爾效應量測 矽與碳化矽的載子濃度,移動度及參雜膜厚度量測
Tera Evaluator是利用FIR波長特性來做橢偏儀的新量測應用因為採用反射光量測 所以適用於非透明材料的薄膜厚度量測.產品特色可以用非接觸式取代現有的霍爾效應量測矽與碳化矽的載子濃度,移動度及參雜膜厚度