原廠國家: 美國 製程應用: 提供非破壞性epiwafers 之電性及 光性mapping檢測 相關連結: http://www.maxmiletech.com/default.htm
1. 節省製程時間,直接於晶片 LED 上量測光性及電性(Device properties) 2. 非破壞性的快速EL量測及EL mapping 3. 適用於2”~6” 晶片 4. 適用波長範圍 : UV/VIS or VIS/IR, or 客製化. 5. 電流量測範圍 : 標準 >10e-6A, 選配>10e-12A 6.使用Camera 自動校正晶片,不需加裝aligner以節省時間.