原廠國家: 德國 製程應用: 橢圓儀及反射儀可使用於任何薄膜之厚度,折射率及消光係數之量測 相關連結: http://www.sentech.de/ 關鍵字 : 橢圓儀
1.Ellipsometer (橢圓儀)及Reflectometer (反射儀)為非破壞性檢測之儀器 2.量測各種光學材料薄膜的厚度以及n、k值 3.提供高精確度、穩定度以及再現性的量測結果