原廠國家: 德國 製程應用: 1. 經濟型等離子刻蝕設備 2. 可升級: 真空LoadLock 3. SENTECH控制軟體 相關連結: http://www.sentech.de/ 關鍵字 : 蝕刻
Etchlab200可以適用各種的蝕刻工藝,如矽,二氧化矽,金屬,III-V化合物,和聚合物