Etchlab 200


  • BRAND: Sentech
  • DESCRIPTION: 反應離子電漿刻蝕
  • 原廠國家:   德國
    製程應用:
      
    1. 經濟型等離子刻蝕設備
    2. 可升級: 真空LoadLock
    3. SENTECH控制軟體

    相關連結:   http://www.sentech.de/
    關鍵字    :  蝕刻

Etchlab200可以適用各種的蝕刻工藝,如矽,二氧化矽,金屬,III-V化合物,和聚合物