原廠國家： 德國 製程應用： 橢圓儀及反射儀可使用於任何薄膜之厚度,折射率及消光係數之量測 相關連結： http://www.sentech.de/
1.全光譜式橢圓儀 2.在基板上可做快速及高靈敏的橢圓參數分析 3.具有高穩定度延相器以利分析 4.步階掃瞄式分析器 ,可做高精確的樣品分析
