原廠國家： 韓國 製程應用： 爐管、濺鍍、物理氣相沉積、預烤爐、化學氣相沉積 相關連結： www.pfkco.com
1. 具有不同材質的wafer(K,R,S type) 2. 可客製化 3. 自製軟體可對應KLA TC wafer
