SemiconductorTeledyne

臭氧產生器 OG-5000

  • BRAND： Teledyne
  • DESCRIPTION： 高濃度臭氧產生器使用於有臭氧的製程

  • 原廠國家： 美國
    製程應用： - 化學氣相沉積化學氣相沉積                   
                         - 原子層沉積系統                   
                         - 氧化層                  
    相關連結： http://teledyne.com/
    關鍵字   ： Ozone/O3

- 可產生高純度高濃度臭氧
 - 相較其他製程氣體而言較不產生環境汙染之問題
 - 低售價
 - 無耗材
 - OG-5000-A 臭氧產量 210g/hr
 - OG-5000-B 臭氧產量 150g/hr