原廠國家: 德國 製程應用: 包含但不局限於 III-V compound semiconductors (GaAs, InP, GaN, InSb), dielectrics, quartz, glass, silicon, silicon compounds (SiC, SiGe), and metals. 相關連結: http://www.sentech.de/ 關鍵字 : 蝕刻
1. 對奈米結構的低傷害 2.高蝕刻率 3.獨特的 ICP 電漿源 4.動態的溫度控制