原廠國家： 美國 製程應用： 可量測5平方英吋或6平方英吋光罩的薄膜的 厚度、折射率、穿透率、線寬、深度與表面 形貌 相關連結： http://www.nandk.com/ 關鍵字 ： 关键尺寸量测 量测薄膜的厚度、折射率、吸收系数
1. 光譜儀量測波長範圍為190~1000nm 2. 反射量側光點為50微米，穿透量側光點為400微米 3. 可自動化量測且量測 5平方英吋或6平方英吋的光罩 4. 非破壞性且即時的量測 5. 高產出以及可直接量測元件內部
