Solar CellFreiberg Instrument

MDPinline

  • BRAND： Freiberg Instrument
  • DESCRIPTION： 量測矽晶圓、磊晶層、全製程 或半製程的半導體元件以及 化合物半導體的少數載子生命週期、 阻抗及薄膜厚度

  • 原廠國家：  德國
    製程應用：      1.可量測lifetime (mapping)
                        2.Resistivity (linescan)
                        3.thickness (linescan)
                        4.材料: silicon wafer, epi layer, partially or
                           fully processed wafer,    compound
                           semiconductor.
    相關連結：  http://www.freiberginstruments.de/
    關鍵字    ：太陽能,量測

1. 可做線上矩陣式量測, 一片晶片量測時間約一秒
2. 根據少數載子壽命 數值建立晶片分類等級機制
3. 在穩態狀態下量測 少數載子壽命  (u-PCD 方式也可選擇)