原廠國家： 德國 製程應用： 橢圓儀及反射儀可使用於任何薄膜之厚度,折射率及消光係數之量測 相關連結： http://www.sentech.de/ 關鍵字 ： 太陽能,量測
1.Ellipsometer (橢圓儀)及Reflectometer (反射儀)為非破壞性檢測之儀器 2.量測粗糙表面光學薄膜厚度及n值;如抗反射層等 3.提供高精確度、穩定度以及再現性的量測結果
