原廠國家:美國 製程應用: - 化學氣相沉積化學氣相沉積 - 原子層沉積系統 - 有機金屬化學氣相沉積系統 相關連結: http://teledyne.com/ 關鍵字 : 臭氧
- 催化劑為基礎的臭氧破壞 - 快速反應時間 - 環境安全的副產品 - 無耗材 - 不需維修保養 - 簡易的安裝.設計 - 解離能力:23% w/w or 350g/Nm³ - 臭氧解離後之臭氧濃度: < 0.01ppm