原廠國家: 德國 制程應用: 快速方便的sensor heard精確溫度校正工具。 相關連結: http://www.laytec.de/absolut/
1. 無需使用傳統eutetic wafer校溫,使用波長950nm標準光源快速執行sensor之溫度校正。 2. 大幅提高機台uptime時間以及製程參數的可靠性。 3.大幅降低因viewport差異所造成Reactor to Reactor, Run to Run, Ring to Ring 的溫度讀值差異,精確度可到1度K。 4. 模組化設計,體積輕巧。