原廠國家: 美國 製程應用: 量測薄膜的厚度、折射率、消光係數、線寬、深度與表面形貌 相關連結: http://www.nandk.com/ 關鍵字 : 關鍵尺寸量測 量測薄膜的厚度、折射率、吸收係數
1.光譜儀量測波長範圍為190~1000nm 2.反射量側與穿透量測的光點皆為50微米 3.可自動化量測且量測6吋, 8吋或12吋的晶圓 4.非破壞性且即時的量測同時量測n/k/OCD 5.高產出以及可直接量測元件內部