原廠國家: 德國 製程應用: 可應用在同時需要原子層鍍膜與電漿化學鍍膜的製程需求. 相關連結: http://www.sentech.de/
1.較低的價格,更高的產出量和更小的空間 2.ALD層與PECVD薄膜在同一反應腔產出混和型多層且均勻一致的薄膜 3.快速切換及快速清洗在ALD層和PECVD薄膜之間。