原廠國家： 德國 製程應用： 1.PEALD敏感基板 2.製程中可線上偵測和優化 3.清潔容易 4.可整合手套箱系統 5.可整合其他系統: PECVD/ICPECVD/Plasma etching 相關連結： http://www.sentech.de/ 關鍵字 ： 原子層沉積
SENTECH原子層沉積系統，使熱和等離子增強的操作，其可為氧化物，氮化物，和金屬沉積進行配置。
