原廠國家： 德國 製程應用： 適用於各種不同薄膜量測: 研發 / 光伏 相關連結： http://www.sentech.de/ 關鍵字 ： 橢圓儀、橢偏儀
-PERC製程用之QC檢驗 -雙層薄膜:Al2O3和SiNx的膜厚和折射率量測 -操作簡易適用於長期穩定性監控
