Compound SemiconductorJEL 

1.  无尘室用3轴圆柱型机械手臂
2.  保持高C/P值和高速传输特性，适用于2吋-300mm晶圆传输的新型单臂机械手臂
3.  采用即使在负载发生或者加减速过大的情况下,也能够避免马达丢步现象的死循环控制方式，有效地提高了机械手
     臂的可靠性
4.  马达配备绝对值编码器，机械手臂能够在任何情况下知道自己的当前位置，缩短了机械手臂各动作轴寻找自身位
     置原点的时间
5.  绝对值编码器为机械式，不需要更换电池
6.  可以和旧型号的本司产品兼容（安装尺寸，性能互换），方便客户对现有设备的升级改造
7.  高强度手臂・手臂第3关节部分可承受3kgf以下的重量（包含Wrist-Block，Chuck，晶圆的重量）
8.  机械手臂标准臂长：100mm, 130mm, 160mm, 200mm
9.  可根据设备的配置选择底座固定方式，或法兰(颈部)固定方式
10.可选购伯努利方式Chuck（Option）
11.电源：DC24V±10% 12A   真空：-53kPa以上
12.控制通讯方式：串行RS232C及并列I/O方式