原廠國家:韓國 製程應用:薄膜去除、顆粒清潔、消除矽片應力、矽片再生 相關連結:http://www.apet.co.kr
1. 馬蘭戈尼乾燥專利 2. 針對薄片大翹曲度晶圓(70um) 3. 無水跡殘留 4. 低的破片率(利用水面表面張力乾燥步驟) 5. 對金屬層無影響 6. 25或50片同時作業,高速的產出 7. 自製整機軟體替換原廠軟體系統(DNS\TEL\Kaijo...)