原厂国家: 韩国 制程应用: 薄膜去除、颗粒清洁、消除硅片应力、硅片再生 相关连结: http://www.apet.co.kr
1. 4"-12"单片式清洗/蚀刻设备(客制化)手动、半自动、全自动机型 2. 适用于多种化学制程 3. 专用分配喷嘴(最小流量控制:0.008cc)