化合物半导体JEL 

Bernoulli Chuck

  • 產品廠牌： JEL
  • 產品簡述：

  • 原厂国家：日本
    伯努利的原理:
    供给端供应的气体会从吸盘的内部圆筒状侧面的喷口高速喷出，并在吸盘内部的筒状空间内形成旋转气流，并形成负压。（旋风效应）
    上述气流最后通过Chuck吸附表面和晶圆表面之间的间隙释放到外部空间。
    气流在旋风吸盘和晶圆之间的空间中形成稳定的层流，并造成晶圆上下表面之间的压力差， 最终形成对晶圆向上的吸附力。


根据用途可以选择①伯努利式Chuck ; ②旋风真空吸盘式Chuck。

①伯努利式Chuck
1.为了响应众多客户的需求，JEL开发了可应用于翘曲，薄型晶圆传输的低价格Chuck。
2.能够适应不同尺寸，形状的被搬运物。
3.能够有效地降低晶圆在吸附的过程中所承受的应力负载，大幅降低晶圆在吸附的过程可能造成的损伤。
4.伯努利原理的Chuck能够做到薄型化。

②旋风真空吸盘式Chuck
1.使用直径25mm，厚度2.5mm的旋风式真空吸盘。
2.能够适应不同尺寸，形状的被搬运物。
3.可以配套伯努利原理校准器使用。
4.旋风式真空吸盘Chuck相较于伯努利原理Chuck具有更强吸力的优点。