ENGLISH
正體中文
简体中文
首页
关于佳霖
公司简介
公司沿革
公司治理
企业社会责任
环境保護
员工关怀
社会参与
安全卫生政策
代理厂牌
产品介绍
半导体设备
半导体材料
化合物半导体
太阳能设备
平面显示器
微机电系统
设备零组件
智慧工厂
JEL Robot 产品维修
无尘室耗材
材料分析
食品
冷却设备
中古设备专区
自动化产品
耐酸鹼泵浦
Cryopump & Robot维修
Cryopump维修
JEL Robot維修
其他Robot厂牌维修
最新消息
最新消息
人力资源
经营理念
薪酬福利
训练发展
人才招募
佳霖生活
联络我们
关系企业
佳霖体系
业务联系
位置地图
ENGLISH
正體中文
简体中文
半导体设备
APET
首页
产品介绍
半导体设备
APET
槽式清洗蚀刻设备
產品廠牌:
APET
產品簡述:
湿式蚀刻去除晶圆表面薄膜或颗粒
原厂国家: 韩国
制程应用: 薄膜去除、颗粒清洁、消除硅片应力、硅片再生
相关连结:
http://www.apet.co.kr
製程說明
1. 马兰戈尼干燥专利
2. 针对薄片大翘曲度晶圆(70um)
3. 无水迹残留
4. 低的破片率(利用水面表面张力干燥步骤)
5. 对金属层无影响
6. 少量的消耗品(N2/IPA/Chemical过滤器)
7. 25或50片同时作业,高速的产出