槽式清洗蚀刻设备


  • 產品廠牌: APET
  • 產品簡述: 湿式蚀刻去除晶圆表面薄膜或颗粒
  • 原厂国家: 韩国
    制程应用: 薄膜去除、颗粒清洁、消除硅片应力、硅片再生
    相关连结: http://www.apet.co.kr


1. 马兰戈尼干燥专利
2. 针对薄片大翘曲度晶圆(70um)
3. 无水迹残留
4. 低的破片率(利用水面表面张力干燥步骤)
5. 对金属层无影响
6. 少量的消耗品(N2/IPA/Chemical过滤器)
7. 25或50片同时作业,高速的产出