半导体设备APET

单片式清洗蚀刻设备

  • 產品廠牌： APET
  • 產品簡述： 湿式蚀刻去除晶圆表面薄膜或颗粒

  • 原厂国家： 韩国
    制程应用： 薄膜去除、颗粒清洁、消除硅片应力、硅片再生
    相关连结： http://www.apet.co.kr


1. 4"-12"单片式清洗/蚀刻设备（客制化）手动、半自动、全自动机型
2. 适用于多种化学制程
3. 专用分配喷嘴（最小流量控制：0.008cc）