半導體設備APET

槽式清洗蝕刻設備乾燥系統改造/升級至馬蘭戈尼乾燥系統

  • 產品廠牌： APET
  • 產品簡述： 濕式蝕刻去除晶圓表面薄膜或顆粒

  • 原廠國家：韓國
    製程應用：薄膜去除、顆粒清潔、消除矽片應力、矽片再生
    相關連結：http://www.apet.co.kr

1. 馬蘭戈尼乾燥專利
2. 針對薄片大翹曲度晶圓（70um）
3. 無水跡殘留
4. 低的破片率（利用水面表面張力乾燥步驟）
5. 對金屬層無影響
6. 25或50片同時作業，高速的產出
7. 自製整機軟體替換原廠軟體系統（DNS\TEL\Kaijo...）