半導體設備APET

馬蘭戈尼乾燥單元

  • 產品廠牌： APET
  • 產品簡述： 晶圓乾燥裝置

  • 原廠國家：韓國
    製程應用：顆粒去除、晶圓乾燥
    相關連結：http://www.apet.co.kr

1. 馬蘭戈尼乾燥專利
2. 針對薄片大翹曲度晶圓（70um）
3. 無水跡殘留
4. 低的破片率（利用水面表面張力乾燥步驟）
5. 對金屬層無影響
6. 少量的消耗品(N2/IPA/Chemical過濾器)
7. 25或50片同時作業，高速的產出