化合物半导体JEL
1. 无尘室用3轴圆柱型机械手臂
2. 保持高C/P值和高速传输特性,适用于2吋-300mm晶圆传输的新型单臂机械手臂
3. 采用即使在负载发生或者加减速过大的情况下,也能够避免马达丢步现象的死循环控制方式,有效地提高了机械手
臂的可靠性
4. 马达配备绝对值编码器,机械手臂能够在任何情况下知道自己的当前位置,缩短了机械手臂各动作轴寻找自身位
置原点的时间
5. 绝对值编码器为机械式,不需要更换电池
6. 可以和旧型号的本司产品兼容(安装尺寸,性能互换),方便客户对现有设备的升级改造
7. 高强度手臂・手臂第3关节部分可承受3kgf以下的重量(包含Wrist-Block,Chuck,晶圆的重量)
8. 机械手臂标准臂长:100mm, 130mm, 160mm, 200mm
9. 可根据设备的配置选择底座固定方式,或法兰(颈部)固定方式
10.可选购伯努利方式Chuck(Option)
11.电源:DC24V±10% 12A 真空:-53kPa以上
12.控制通讯方式:串行RS232C及并列I/O方式
2. 保持高C/P值和高速传输特性,适用于2吋-300mm晶圆传输的新型单臂机械手臂
3. 采用即使在负载发生或者加减速过大的情况下,也能够避免马达丢步现象的死循环控制方式,有效地提高了机械手
臂的可靠性
4. 马达配备绝对值编码器,机械手臂能够在任何情况下知道自己的当前位置,缩短了机械手臂各动作轴寻找自身位
置原点的时间
5. 绝对值编码器为机械式,不需要更换电池
6. 可以和旧型号的本司产品兼容(安装尺寸,性能互换),方便客户对现有设备的升级改造
7. 高强度手臂・手臂第3关节部分可承受3kgf以下的重量(包含Wrist-Block,Chuck,晶圆的重量)
8. 机械手臂标准臂长:100mm, 130mm, 160mm, 200mm
9. 可根据设备的配置选择底座固定方式,或法兰(颈部)固定方式
10.可选购伯努利方式Chuck(Option)
11.电源:DC24V±10% 12A 真空:-53kPa以上
12.控制通讯方式:串行RS232C及并列I/O方式